Микроэлектромеханические системы

Паутинный клещ на полисиликоновом MEMS-устройстве. Изображение Sandia National Laboratories

Микроэлектромеханические системы (MEMS, МЭМС) — технологии и устройства, объединяющие в себе микроэлектронные и микромеханические компоненты. МЭМС устройства обычно изготавливают на кремниевой подложке с помощью технологии микрообработки (en:Microfabrication), аналогично технологии изготовления однокристальных интегральных микросхем. Типичные размеры микромеханических элементов лежат в диапазоне от 1 микрометра до 100 микрометров, тогда как размеры кристалла МЭМС микросхемы имеют размеры от 20 микрометров до одного миллиметра.

В настоящее время МЭМС технологии уже применяются для изготовления различных микросхем. Так, МЭМС-осцилляторы в некоторых применениях заменяют кварцевые генераторы. МЭМС технологии применяются для создания разнообразных миниатюрных датчиков, таких как акселерометры, датчики угловых скоростей, магнитометрические датчики, барометрические датчики, анализаторы среды (например для оперативного анализа крови).

Ссылки

• memswiki.net(англ.)
• MEMS-устройства для СВЧ приложений: новая волна
• Л.Белов, М.Житникова. Микроэлектромеханические компоненты радиочастотного диапазона, Электроника НТБ Выпуск № 8/2006::Элементная база электроники
• Л.Белов. МЭМС-компоненты и узлы радиочастотной аппаратуры Электроника НТБ Выпуск № 2/2008::Элементная база электроники

Данная страница содержит материал, распространяемый под лицензией GNU Free Documentation License. Содержимое страницы основано на статье Микроэлектромеханические системы из Википедии.