Термохимическая нанолитография

Сокращенное название Технологического института Джорджии, записанное методом термохимической нанолитографии. Изображение с сайта gatech.edu.

Термохимическая нанолитография (ТХНЛ)

Разработан новый метод нанолитографии

Новый метод нанолитографии, разработанный исследователями из Технологического института Джорджии (Georgia Institute of Technology) США, может сделать производство наноустройств коммерчески выгодным, сообщается в пресс-релизе института.

Нанолитографией в широком смысле слова называют создание любых структур, имеющих размеры порядка нескольких нанометров. Наноустройства могут применяться в медицине (для доставки лекарств в нужную точку организма), в информационных технологиях (для создания сверхмалых процессоров) и других областях.

Новый метод, называемый термохимической нанолитографией (ТХНЛ), заключается в следующем. Нагретая кремниевая игла атомно-силового микроскопа движется по специальной тонкой полимерной пленке. Под воздействием тепла на поверхности пленки начинается химическая реакция, в ходе которой соответствующие участки пленки изменяют свои химические свойства и приобретают способность присоединяться к другим молекулам.

Основной идеей ТХНЛ являются химические особенности пленки и использование горячей иглы (температура острия может превышать тысячу градусов Цельсия, иглу можно нагревать и охлаждать около миллиона раз в секунду). За счет того, что реакция на пленке запускается сама, удается избежать необходимости переносить вещества с иглы на пленку, как это делается в большинстве других методов.

ТХНЛ позволяет работать на скорости несколько миллиметров в секунду, в то время как другие современные методы - лишь на скорости около одной десятитысячной миллиметра в секунду. Кроме того, ТХНЛ может применяться на воздухе, во влажной среде, без присутствия сильного электрического поля, как другие методы. Минимальные размеры, с которыми можно работать, используя ТХНЛ, - около 12 нанометров.

Ссылки

• Drawing Nanoscale Features the Fast and Easy Way – Georgia Institure of Technology Press Release, 10.09.07
• Georgia Institute of Technology
• Создан оптический микроскоп с разрешением десять нанометров - Lenta.ru, 13.08.2007

Источник: http://lenta.ru/news/2007/09/10/nano/