Фотолитография
Фотолитография,
1) специальная фотография, процесс на фоторезистах, отличающийся высокой разрешающей способностью. Цель Ф. – создать в слое фоторезиста «окна» заданной конфигурации для доступа травителя к расположенной под этим слоем полупроводниковой пластине с окисной плёнкой. Такие «окна» образуются при экспонировании фоторезиста в потоке ультрафиолетового излучения или в потоке электронов, в результате которого он теряет (негативный фоторезист) или приобретает (позитивный фоторезист) способность к растворению. Одним из многочисленных применений Ф. служит получение этим методом сотен тысяч мельчайших упорядоченно расположенных отверстий в масках цветных телевизоров. См. также Планарная технология.
2) Фотомеханический способ изготовления литографской печатной формы (см. Литография), при котором изображение с негатива копируется на светочувствительный слой, покрывающий поверхность литографского камня (или металла). После проявления копии её подвергают химической обработке, в результате которой поверхность разделяется на печатающие и пробельные элементы. В настоящее время (2-я половина 20 в.) Ф. применяется чрезвычайно редко.
3) Оттиск с литографской печатной формы, изготовленной по способу фотолитографии.
- Эта статья или раздел использует текст Большой советской энциклопедии.
