Микроэлектромеханические системы — различия между версиями
Материал из ЭНЭ
Evgen (обсуждение | вклад) (Новая: Микромеханическая [[цепная передача (исследовательский проект).]] '''Микроэлек...) |
EvgBot (обсуждение | вклад) м |
||
| (не показаны 4 промежуточные версии 2 участников) | |||
| Строка 1: | Строка 1: | ||
| − | [[Изображение: | + | [[Изображение:Sandia MEMS bug 1b.jpg|thumb|Паутинный клещ на полисиликоновом MEMS-устройстве. Изображение [http://www.mems.sandia.gov Sandia National Laboratories] ]] |
'''Микроэлектромеханические системы''' ('''[[MEMS]]''', МЭМС) — технологии и устройства, объединяющие в себе микроэлектронные и микромеханические компоненты. МЭМС устройства обычно изготавливают на кремниевой подложке с помощью технологии микрообработки<ref>[http://www.memsnet.org/mems/what-is.html www.memsnet.org: «What is MEMS Technology?»]{{ref-en}}</ref> ([[:en:Microfabrication]]), аналогично технологии изготовления однокристальных интегральных [[микросхема|микросхем]]. Типичные размеры микромеханических элементов лежат в диапазоне от 1 [[микрометр]]а до 100 микрометров, тогда как размеры кристалла МЭМС микросхемы имеют размеры от 20 микрометров до одного миллиметра. | '''Микроэлектромеханические системы''' ('''[[MEMS]]''', МЭМС) — технологии и устройства, объединяющие в себе микроэлектронные и микромеханические компоненты. МЭМС устройства обычно изготавливают на кремниевой подложке с помощью технологии микрообработки<ref>[http://www.memsnet.org/mems/what-is.html www.memsnet.org: «What is MEMS Technology?»]{{ref-en}}</ref> ([[:en:Microfabrication]]), аналогично технологии изготовления однокристальных интегральных [[микросхема|микросхем]]. Типичные размеры микромеханических элементов лежат в диапазоне от 1 [[микрометр]]а до 100 микрометров, тогда как размеры кристалла МЭМС микросхемы имеют размеры от 20 микрометров до одного миллиметра. | ||
| Строка 10: | Строка 10: | ||
* [http://memswiki.net/ memswiki.net]{{ref-en}} | * [http://memswiki.net/ memswiki.net]{{ref-en}} | ||
* [http://www.chipnews.ru/html.cgi/arhiv/01_07/stat-3.htm MEMS-устройства для СВЧ приложений: новая волна] | * [http://www.chipnews.ru/html.cgi/arhiv/01_07/stat-3.htm MEMS-устройства для СВЧ приложений: новая волна] | ||
| + | * [http://www.electronics.ru/issue/2006/8/3 Л.Белов, М.Житникова. Микроэлектромеханические компоненты радиочастотного диапазона, Электроника НТБ Выпуск № 8/2006::Элементная база электроники] | ||
| + | * [http://www.electronics.ru/issue/2008/2/4 Л.Белов. МЭМС-компоненты и узлы радиочастотной аппаратуры Электроника НТБ Выпуск № 2/2008::Элементная база электроники] | ||
{{Википедия2|http://ru.wikipedia.org/wiki/%D0%9C%D0%B8%D0%BA%D1%80%D0%BE%D1%8D%D0%BB%D0%B5%D0%BA%D1%82%D1%80%D0%BE%D0%BC%D0%B5%D1%85%D0%B0%D0%BD%D0%B8%D1%87%D0%B5%D1%81%D0%BA%D0%B8%D0%B5_%D1%81%D0%B8%D1%81%D1%82%D0%B5%D0%BC%D1%8B|Микроэлектромеханические системы}} | {{Википедия2|http://ru.wikipedia.org/wiki/%D0%9C%D0%B8%D0%BA%D1%80%D0%BE%D1%8D%D0%BB%D0%B5%D0%BA%D1%82%D1%80%D0%BE%D0%BC%D0%B5%D1%85%D0%B0%D0%BD%D0%B8%D1%87%D0%B5%D1%81%D0%BA%D0%B8%D0%B5_%D1%81%D0%B8%D1%81%D1%82%D0%B5%D0%BC%D1%8B|Микроэлектромеханические системы}} | ||
Текущая версия на 14:24, 9 ноября 2008
Микроэлектромеханические системы (MEMS, МЭМС) — технологии и устройства, объединяющие в себе микроэлектронные и микромеханические компоненты. МЭМС устройства обычно изготавливают на кремниевой подложке с помощью технологии микрообработки[1] (en:Microfabrication), аналогично технологии изготовления однокристальных интегральных микросхем. Типичные размеры микромеханических элементов лежат в диапазоне от 1 микрометра до 100 микрометров, тогда как размеры кристалла МЭМС микросхемы имеют размеры от 20 микрометров до одного миллиметра.
В настоящее время МЭМС технологии уже применяются для изготовления различных микросхем. Так, МЭМС-осцилляторы в некоторых применениях заменяют[2] кварцевые генераторы. МЭМС технологии применяются для создания разнообразных миниатюрных датчиков, таких как акселерометры, датчики угловых скоростей, магнитометрические датчики, барометрические датчики, анализаторы среды (например для оперативного анализа крови).
Примечания
Ссылки
- memswiki.net(англ.)
- MEMS-устройства для СВЧ приложений: новая волна
- Л.Белов, М.Житникова. Микроэлектромеханические компоненты радиочастотного диапазона, Электроника НТБ Выпуск № 8/2006::Элементная база электроники
- Л.Белов. МЭМС-компоненты и узлы радиочастотной аппаратуры Электроника НТБ Выпуск № 2/2008::Элементная база электроники
 |
Данная страница содержит материал, распространяемый под лицензией GNU Free Documentation License. Содержимое страницы основано на статье Микроэлектромеханические системы из Википедии. |
